携帯电子デバイスがますます小型化し高机能になるなか、先端ロジック半导体メーカーは高性能かつ10苍尘未満のロジックチップをかつてないほど多量に生产しなければなりません。効果的に竞合をしのぎ、収益性の高い先端ロジックのビジネスチャンスをつかむには、数々の技术的课题を克服する必要があります
用途
先端ロジック
先端ロジックチップメーカーへ最大限の純度と生产性を提供
ホワイトペーパー
Microwave ECR Plasma Electron Flood for Low Pressure Wafer Charge Neutralization
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Material Modification Implants for Advanced Devices
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Contamination Control in the Purion Platform Ion Implanters
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动画
Purion Vector Dose and Angle Control System
Purion Shield Contamination Defense